Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen:
Gespeichert in:
| Beteilige Person: | |
|---|---|
| Format: | Hochschulschrift/Dissertation Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
Düsseldorf
VDI Verl.
1990
|
| Ausgabe: | Als Ms. gedr. |
| Schriftenreihe: | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]
100 |
| Schlagwörter: | |
| Umfang: | IX, 120 S. Ill., graph. Darst. |
| ISBN: | 3181400092 |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 cb4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV004826749 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 20231128 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 920512s1990 xx ad|| ma|| 00||| gerod | ||
| 020 | |a 3181400092 |9 3-18-140009-2 | ||
| 035 | |a (OCoLC)35478655 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV004826749 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 049 | |a DE-91 |a DE-210 |a DE-83 |a DE-B1550 | ||
| 084 | |a ELT 287d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Müller, Karl Paul |e Verfasser |0 (DE-588)115826433X |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen |c Karl Paul Müller |
| 250 | |a Als Ms. gedr. | ||
| 264 | 1 | |a Düsseldorf |b VDI Verl. |c 1990 | |
| 300 | |a IX, 120 S. |b Ill., graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 490 | 1 | |a Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] |v 100 | |
| 502 | |a Zugl.: Berlin, Techn. Univ. Diss., 1989 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Maske |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4282533-7 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Simulation |0 (DE-588)4055072-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Gold |0 (DE-588)4157819-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Ionenstrahl |0 (DE-588)4162347-2 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Reparatur |0 (DE-588)4115746-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 689 | 0 | 0 | |a Maske |g Halbleitertechnologie |0 (DE-588)4282533-7 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Reparatur |0 (DE-588)4115746-1 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Ionenstrahl |0 (DE-588)4162347-2 |D s |
| 689 | 0 | 3 | |a Gold |0 (DE-588)4157819-3 |D s |
| 689 | 0 | 4 | |a Sputtern |0 (DE-588)4182614-0 |D s |
| 689 | 0 | 5 | |a Simulation |0 (DE-588)4055072-2 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 810 | 2 | |a Verein Deutscher Ingenieure |t [Fortschritt-Berichte VDI |p 9 |v 100 |w (DE-604)BV047505631 |9 100 | |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002969666 | |
Datensatz im Suchindex
| DE-BY-TUM_call_number | 0024 65 B 276-9,100 |
|---|---|
| DE-BY-TUM_katkey | 549323 |
| DE-BY-TUM_location | Mag |
| DE-BY-TUM_media_number | 040001080539 |
| _version_ | 1821935677234741249 |
| any_adam_object | |
| author | Müller, Karl Paul |
| author_GND | (DE-588)115826433X |
| author_facet | Müller, Karl Paul |
| author_role | aut |
| author_sort | Müller, Karl Paul |
| author_variant | k p m kp kpm |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV004826749 |
| classification_tum | ELT 287d |
| ctrlnum | (OCoLC)35478655 (DE-599)BVBBV004826749 |
| discipline | Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik |
| edition | Als Ms. gedr. |
| format | Thesis Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01942nam a2200481 cb4500</leader><controlfield tag="001">BV004826749</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">20231128 </controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">920512s1990 xx ad|| ma|| 00||| gerod</controlfield><datafield tag="020" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">3181400092</subfield><subfield code="9">3-18-140009-2</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)35478655</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV004826749</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-210</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-B1550</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 287d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Müller, Karl Paul</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)115826433X</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen</subfield><subfield code="c">Karl Paul Müller</subfield></datafield><datafield tag="250" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Als Ms. gedr.</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="a">Düsseldorf</subfield><subfield code="b">VDI Verl.</subfield><subfield code="c">1990</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">IX, 120 S.</subfield><subfield code="b">Ill., graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="490" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9]</subfield><subfield code="v">100</subfield></datafield><datafield tag="502" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Zugl.: Berlin, Techn. Univ. Diss., 1989</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Maske</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4282533-7</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Simulation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055072-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Gold</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157819-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Ionenstrahl</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162347-2</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Reparatur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4115746-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Maske</subfield><subfield code="g">Halbleitertechnologie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4282533-7</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Reparatur</subfield><subfield code="0">(DE-588)4115746-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Ionenstrahl</subfield><subfield code="0">(DE-588)4162347-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Gold</subfield><subfield code="0">(DE-588)4157819-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="4"><subfield code="a">Sputtern</subfield><subfield code="0">(DE-588)4182614-0</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="5"><subfield code="a">Simulation</subfield><subfield code="0">(DE-588)4055072-2</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="810" ind1="2" ind2=" "><subfield code="a">Verein Deutscher Ingenieure</subfield><subfield code="t">[Fortschritt-Berichte VDI </subfield><subfield code="p">9</subfield><subfield code="v">100</subfield><subfield code="w">(DE-604)BV047505631</subfield><subfield code="9">100</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002969666</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content |
| genre_facet | Hochschulschrift |
| id | DE-604.BV004826749 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-12-20T08:23:29Z |
| institution | BVB |
| isbn | 3181400092 |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002969666 |
| oclc_num | 35478655 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-83 DE-B1550 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-210 DE-83 DE-B1550 |
| physical | IX, 120 S. Ill., graph. Darst. |
| publishDate | 1990 |
| publishDateSearch | 1990 |
| publishDateSort | 1990 |
| publisher | VDI Verl. |
| record_format | marc |
| series2 | Verein Deutscher Ingenieure: [Fortschritt-Berichte VDI / 9] |
| spellingShingle | Müller, Karl Paul Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd Maske Halbleitertechnologie (DE-588)4282533-7 gnd Simulation (DE-588)4055072-2 gnd Gold (DE-588)4157819-3 gnd Ionenstrahl (DE-588)4162347-2 gnd Reparatur (DE-588)4115746-1 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4182614-0 (DE-588)4282533-7 (DE-588)4055072-2 (DE-588)4157819-3 (DE-588)4162347-2 (DE-588)4115746-1 (DE-588)4113937-9 |
| title | Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen |
| title_auth | Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen |
| title_exact_search | Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen |
| title_full | Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen Karl Paul Müller |
| title_fullStr | Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen Karl Paul Müller |
| title_full_unstemmed | Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen Karl Paul Müller |
| title_short | Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen |
| title_sort | bestimmung von redepositions charakteristiken von gold fur die profilsimulation der reparatur von rontgenmasken mit fokussierten ionenstrahlen |
| topic | Sputtern (DE-588)4182614-0 gnd Maske Halbleitertechnologie (DE-588)4282533-7 gnd Simulation (DE-588)4055072-2 gnd Gold (DE-588)4157819-3 gnd Ionenstrahl (DE-588)4162347-2 gnd Reparatur (DE-588)4115746-1 gnd |
| topic_facet | Sputtern Maske Halbleitertechnologie Simulation Gold Ionenstrahl Reparatur Hochschulschrift |
| volume_link | (DE-604)BV047505631 |
| work_keys_str_mv | AT mullerkarlpaul bestimmungvonredepositionscharakteristikenvongoldfurdieprofilsimulationderreparaturvonrontgenmaskenmitfokussiertenionenstrahlen |
Paper/Kapitel scannen lassen
Bibliotheksmagazin
| Signatur: |
0024 65 B 276-9,100
Lageplan |
|---|---|
| Exemplar 1 | Ausleihbar Am Standort |