Optimierung der Strahlungscharakteristik eines Pinchplasmas für die Röntgenlithographie:
Gespeichert in:
| Beteilige Person: | |
|---|---|
| Format: | Buch |
| Sprache: | Deutsch |
| Veröffentlicht: |
1990
|
| Schlagwörter: | |
| Beschreibung: | Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1990 |
| Umfang: | 117 S. graph. Darst. |
Internformat
MARC
| LEADER | 00000nam a2200000 c 4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | BV004370677 | ||
| 003 | DE-604 | ||
| 005 | 19970114 | ||
| 007 | t| | ||
| 008 | 910418s1990 gw d||| m||| 00||| ger d | ||
| 035 | |a (OCoLC)60330849 | ||
| 035 | |a (DE-599)BVBBV004370677 | ||
| 040 | |a DE-604 |b ger |e rakddb | ||
| 041 | 0 | |a ger | |
| 044 | |a gw |c DE | ||
| 049 | |a DE-91 |a DE-83 |a DE-11 | ||
| 084 | |a MSR 370d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 571d |2 stub | ||
| 084 | |a ELT 287d |2 stub | ||
| 084 | |a PHY 110d |2 stub | ||
| 100 | 1 | |a Eberle, Jürgen |d 1947- |e Verfasser |0 (DE-588)124970230 |4 aut | |
| 245 | 1 | 0 | |a Optimierung der Strahlungscharakteristik eines Pinchplasmas für die Röntgenlithographie |
| 264 | 1 | |c 1990 | |
| 300 | |a 117 S. |b graph. Darst. | ||
| 336 | |b txt |2 rdacontent | ||
| 337 | |b n |2 rdamedia | ||
| 338 | |b nc |2 rdacarrier | ||
| 500 | |a Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1990 | ||
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgenlithografie |0 (DE-588)4178314-1 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Röntgenstrahlung |0 (DE-588)4129728-3 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 650 | 0 | 7 | |a Pinch |0 (DE-588)4275535-9 |2 gnd |9 rswk-swf |
| 655 | 7 | |0 (DE-588)4113937-9 |a Hochschulschrift |2 gnd-content | |
| 655 | 7 | |a Strahlungscharakterisitik |2 gnd |9 rswk-swf | |
| 689 | 0 | 0 | |a Pinch |0 (DE-588)4275535-9 |D s |
| 689 | 0 | 1 | |a Röntgenstrahlung |0 (DE-588)4129728-3 |D s |
| 689 | 0 | 2 | |a Strahlungscharakterisitik |A f |
| 689 | 0 | 3 | |a Röntgenlithografie |0 (DE-588)4178314-1 |D s |
| 689 | 0 | |5 DE-604 | |
| 943 | 1 | |a oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002713007 | |
Datensatz im Suchindex
| DE-BY-TUM_call_number | 0001 DA 91 2314 |
|---|---|
| DE-BY-TUM_katkey | 521984 |
| DE-BY-TUM_location | Mag |
| DE-BY-TUM_media_number | TEMP1940315 |
| _version_ | 1821937809096704000 |
| any_adam_object | |
| author | Eberle, Jürgen 1947- |
| author_GND | (DE-588)124970230 |
| author_facet | Eberle, Jürgen 1947- |
| author_role | aut |
| author_sort | Eberle, Jürgen 1947- |
| author_variant | j e je |
| building | Verbundindex |
| bvnumber | BV004370677 |
| classification_tum | MSR 370d PHY 571d ELT 287d PHY 110d |
| ctrlnum | (OCoLC)60330849 (DE-599)BVBBV004370677 |
| discipline | Physik Elektrotechnik / Elektronik / Nachrichtentechnik Mess-/Steuerungs-/Regelungs-/Automatisierungstechnik / Mechatronik |
| format | Book |
| fullrecord | <?xml version="1.0" encoding="UTF-8"?><collection xmlns="http://www.loc.gov/MARC21/slim"><record><leader>01454nam a2200433 c 4500</leader><controlfield tag="001">BV004370677</controlfield><controlfield tag="003">DE-604</controlfield><controlfield tag="005">19970114 </controlfield><controlfield tag="007">t|</controlfield><controlfield tag="008">910418s1990 gw d||| m||| 00||| ger d</controlfield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(OCoLC)60330849</subfield></datafield><datafield tag="035" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">(DE-599)BVBBV004370677</subfield></datafield><datafield tag="040" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-604</subfield><subfield code="b">ger</subfield><subfield code="e">rakddb</subfield></datafield><datafield tag="041" ind1="0" ind2=" "><subfield code="a">ger</subfield></datafield><datafield tag="044" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">gw</subfield><subfield code="c">DE</subfield></datafield><datafield tag="049" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">DE-91</subfield><subfield code="a">DE-83</subfield><subfield code="a">DE-11</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">MSR 370d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 571d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">ELT 287d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="084" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">PHY 110d</subfield><subfield code="2">stub</subfield></datafield><datafield tag="100" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">Eberle, Jürgen</subfield><subfield code="d">1947-</subfield><subfield code="e">Verfasser</subfield><subfield code="0">(DE-588)124970230</subfield><subfield code="4">aut</subfield></datafield><datafield tag="245" ind1="1" ind2="0"><subfield code="a">Optimierung der Strahlungscharakteristik eines Pinchplasmas für die Röntgenlithographie</subfield></datafield><datafield tag="264" ind1=" " ind2="1"><subfield code="c">1990</subfield></datafield><datafield tag="300" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">117 S.</subfield><subfield code="b">graph. Darst.</subfield></datafield><datafield tag="336" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">txt</subfield><subfield code="2">rdacontent</subfield></datafield><datafield tag="337" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">n</subfield><subfield code="2">rdamedia</subfield></datafield><datafield tag="338" ind1=" " ind2=" "><subfield code="b">nc</subfield><subfield code="2">rdacarrier</subfield></datafield><datafield tag="500" ind1=" " ind2=" "><subfield code="a">Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1990</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgenlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178314-1</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Röntgenstrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4129728-3</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="650" ind1="0" ind2="7"><subfield code="a">Pinch</subfield><subfield code="0">(DE-588)4275535-9</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="0">(DE-588)4113937-9</subfield><subfield code="a">Hochschulschrift</subfield><subfield code="2">gnd-content</subfield></datafield><datafield tag="655" ind1=" " ind2="7"><subfield code="a">Strahlungscharakterisitik</subfield><subfield code="2">gnd</subfield><subfield code="9">rswk-swf</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="0"><subfield code="a">Pinch</subfield><subfield code="0">(DE-588)4275535-9</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="1"><subfield code="a">Röntgenstrahlung</subfield><subfield code="0">(DE-588)4129728-3</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="2"><subfield code="a">Strahlungscharakterisitik</subfield><subfield code="A">f</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2="3"><subfield code="a">Röntgenlithografie</subfield><subfield code="0">(DE-588)4178314-1</subfield><subfield code="D">s</subfield></datafield><datafield tag="689" ind1="0" ind2=" "><subfield code="5">DE-604</subfield></datafield><datafield tag="943" ind1="1" ind2=" "><subfield code="a">oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002713007</subfield></datafield></record></collection> |
| genre | (DE-588)4113937-9 Hochschulschrift gnd-content Strahlungscharakterisitik gnd |
| genre_facet | Hochschulschrift Strahlungscharakterisitik |
| id | DE-604.BV004370677 |
| illustrated | Illustrated |
| indexdate | 2024-12-20T08:17:14Z |
| institution | BVB |
| language | German |
| oai_aleph_id | oai:aleph.bib-bvb.de:BVB01-002713007 |
| oclc_num | 60330849 |
| open_access_boolean | |
| owner | DE-91 DE-BY-TUM DE-83 DE-11 |
| owner_facet | DE-91 DE-BY-TUM DE-83 DE-11 |
| physical | 117 S. graph. Darst. |
| publishDate | 1990 |
| publishDateSearch | 1990 |
| publishDateSort | 1990 |
| record_format | marc |
| spellingShingle | Eberle, Jürgen 1947- Optimierung der Strahlungscharakteristik eines Pinchplasmas für die Röntgenlithographie Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 gnd Röntgenstrahlung (DE-588)4129728-3 gnd Pinch (DE-588)4275535-9 gnd |
| subject_GND | (DE-588)4178314-1 (DE-588)4129728-3 (DE-588)4275535-9 (DE-588)4113937-9 |
| title | Optimierung der Strahlungscharakteristik eines Pinchplasmas für die Röntgenlithographie |
| title_auth | Optimierung der Strahlungscharakteristik eines Pinchplasmas für die Röntgenlithographie |
| title_exact_search | Optimierung der Strahlungscharakteristik eines Pinchplasmas für die Röntgenlithographie |
| title_full | Optimierung der Strahlungscharakteristik eines Pinchplasmas für die Röntgenlithographie |
| title_fullStr | Optimierung der Strahlungscharakteristik eines Pinchplasmas für die Röntgenlithographie |
| title_full_unstemmed | Optimierung der Strahlungscharakteristik eines Pinchplasmas für die Röntgenlithographie |
| title_short | Optimierung der Strahlungscharakteristik eines Pinchplasmas für die Röntgenlithographie |
| title_sort | optimierung der strahlungscharakteristik eines pinchplasmas fur die rontgenlithographie |
| topic | Röntgenlithografie (DE-588)4178314-1 gnd Röntgenstrahlung (DE-588)4129728-3 gnd Pinch (DE-588)4275535-9 gnd |
| topic_facet | Röntgenlithografie Röntgenstrahlung Pinch Hochschulschrift Strahlungscharakterisitik |
| work_keys_str_mv | AT eberlejurgen optimierungderstrahlungscharakteristikeinespinchplasmasfurdierontgenlithographie |
Paper/Kapitel scannen lassen
Bibliotheksmagazin
| Signatur: |
0001 DA 91 2314
Lageplan |
|---|---|
| Exemplar 1 | Ausleihbar Am Standort |