Verfügbarkeit: Die kostenoptimierte Produktion von CMOS-Halbleitern

Die kostenoptimierte Produktion von CMOS-Halbleitern:

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Bibliographische Detailangaben
Beteiligte Personen:	Freise, Ludwig (VerfasserIn), Schwerhoff, Ulrich (VerfasserIn), Schulte-Hillen, Jürgen (VerfasserIn)
Format:	Buch
Sprache:	Deutsch
Veröffentlicht:	Düsseldorf VDI Verl. 1987
Ausgabe:	Als Ms. gedr.
Schriftenreihe:	Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / 9 72
Schlagwörter:	Fertigung CMOS
Umfang:	XV, 285 S. graph. Darst.
ISBN:	3181472093

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