Halbleiterprüfung Licht- und Rasterelektronenmikroskopie ; mit 12 Tabellen - Schäfer, Wolfgang; Terlecki, Georg 1945- (Hüthig, 1986)
Literaturangaben
Keywords: Halbleiter; Rasterelektronenmikroskopie; Optik; Mikroskopie; Prüftechnik