Untersuchung der atomaren Rauhigkeit der Si-SiO2-Grenzfläche sowie ihr Einfluß auf die Beweglichkeit in MOS-Transistoren:
Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Beteilige Person: Hahn, Peter Otto (VerfasserIn)
Format: Buch
Sprache:Deutsch
Veröffentlicht: Hannover 1982
Schlagwörter:
Beschreibung:Hannover, Univ., Diss., 1982
Umfang:141 S. graph. Darst.
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Signatur: 0001 DA 82 1353 Lageplan
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