Suchergebnisse - Münchmeyer, Dietrich
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1Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer TrenndüsenelementeVeröffentlicht 1984Signatur: Wird geladen …
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2Analyse der Defektursachen und der Genauigkeit der Strukturübertragung bei der Röntgentiefenlithographie mit SynchrotronstrahlungVeröffentlicht 1988Signatur: Wird geladen …
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3Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchrotronstrahlung bei der Herstellung technischer TrenndüsenelementeVeröffentlicht 1984Signatur: Wird geladen …
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4Untersuchungen zur Abbildungsgenauigkeit der Röntgentiefenlithografie mit Synchronstrahlung bei der Herstellung technischer TrenndrüsenelementeVeröffentlicht 1984Signatur: Wird geladen …
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