Suchergebnisse - Achenbach, Sven
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1Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem AspektverhältnisVeröffentlicht 2006Signatur: Wird geladen …
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2Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL)Veröffentlicht 2000Signatur: Wird geladen …Inhaltsverzeichnis
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Hochschulschrift/Dissertation Buch -
3Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem AspektverhältnisVeröffentlicht 2006Signatur: Wird geladen …
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